超高精度校準的核心挑戰(zhàn)與實現路徑

實現±0.1%精度需突破環(huán)境干擾、材料形變及信號噪聲三重挑戰(zhàn)：

溫度漂移控制：藍寶石絕緣基底（SOS技術）使傳感器在-50°C至125°C溫區(qū)內溫漂≤0.01%FS/℃；

非線性誤差抑制：分子鍵合鈦合金隔膜結構減少遲滯（典型值<0.005%FS），確保壓力-電信號線性轉換；

長期穩(wěn)定性保障：外延硅應變儀與藍寶石的晶體鍵合設計，實現10年壽命周期內漂移<±0.1%。

校準流程：從設備配置到誤差修正

（1）校準設備與環(huán)境要求

要素 技術參數

標準壓力源 精度≥0.05%FS，穩(wěn)定性≤0.01%FS（如活塞式壓力計）

環(huán)境控制 溫度波動±1°C、濕度<60%RH、無塵無振動

數據采集系統 24位ADC分辨率，采樣率≥1kS/s（如安捷倫34972A）

（2）校準三階段操作

零點校準：

零壓狀態(tài)下調整微調電位器，使輸出電流=4mA（或電壓=0V）；

采用軟件輔助調零時，需寫入DAC偏移補償系數至EEPROM。

滿量程校準：

加載額定壓力（AGS4213-D-0010-AB量程為0-100bar），調整增益使輸出=20mA/10V；

重復3次循環(huán)消除機械遲滯。

非線性修正：

以10%量程為間隔取11個壓力點，記錄輸出值并擬合線性方程；

對偏差>0.05%的點植入分段補償算法。

校準驗證案例：某航空發(fā)動機測試中，AGS4213經上述校準后，在50-100bar區(qū)間的最大非線性誤差僅0.07%FS。

工業(yè)場景應用驗證

（1）生物制藥微正壓控制（0.1%精度達成）

搭配24位PID控制器，在30-100kPa區(qū)間實現波動率<±0.05%；

關鍵配置：

16位DAC輸出（調節(jié)步長0.01%）

RS-485總線實時傳輸數據（延遲<10ms）。

（2）航空發(fā)動機高溫測試

650℃環(huán)境下采用Al?O?納米涂層，1000小時漂移<0.08%FS；